- Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở. - Nghiên cứu về áp trở và các kết quả thu được của nhóm nghiên cứu được trình bày theo định hướng là tham chiếu cho các kết quả chính về cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ. - Cảm biến . - Hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) là tập hợp các vi cảm biến và cơ cấu chấp hành có khả năng cảm nhận môi trường xung quanh và đáp ứng với những thay đổi trong môi trường đó với việc sử dụng một vi mạch điều khiển. - Một thiết bị MEMS thông thường là một hệ thống vi cơ tích hợp trên một chíp với những cơ cấu chấp hành và cảm biến mong muốn. - Công nghệ vi cơ đã và đang tiến xa hơn nhiều so với nguồn gốc của nó là công nghệ bán dẫn. - Với ưu thế, có thể tạo ra những cấu trúc cơ học nhỏ bé tinh tế và nhạy cảm đặc thù, công nghệ vi cơ hiện nay đã cho phép tạo ra những bộ cảm biến và cơ cấu chấp hành được ứng dụng rộng rãi trong cuộc sống. - Các bộ cảm biến siêu nhỏ và rất tiện ích này đã thay thế cho các thiết bị đo cũ kỹ trước đây. - Song công nghệ MEMS mới đang ở giai đoạn đầu của nó và cần rất nhiều những nghiên cứu cơ bản và chuyên sâu. - Công nghệ máy in phun là một trong những công nghệ đi đầu trong lĩnh vực này. - Cái dễ nhìn thấy hiệu quả của nó là các loại máy in phun công nghệ cao dần thay thế các loại máy cồng kềnh và khó sử dụng với công nghệ cũ. - Trong y tế, việc điều khiển tạo ra những giọt vi lỏng với tốc độ khác nhau có ứng dụng rất lớn, việc lọc máu cho các bệnh nhân hiện đang sử dụng công nghệ này. - Mục đích hướng tới của công nghệ vi lỏng là có thể đo thể tích, vật tốc và đặc tính của chất lỏng từ đó tạo ra các giọt, dòng vi lỏng có những thông số theo yêu cầu sử dụng trong các vi kênh khác nhau.. - Với những lý do trên, tôi chọn đề tài cho luận văn thạc sĩ là: “Thiết kế chế tạo cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ và kiểu áp trở” (Design and fabrication of flow sensors based on capacitive and piezoresistive principles).. - Trong luận văn này, các nội dung nghiên cứu về áp trở và các kết quả thu được của nhóm nghiên cứu được trình bày theo định hướng là tham chiếu cho các kết quả chính về cảm biến dòng chảy dựa trên nguyên lý kiểu tụ.