- TÓM TẮT LUẬN VĂN Tên luận văn: NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO CẢM BIẾN KHÍ VI CÂN TINH THỂ THẠCH ANH (QCM) SỬ DỤNG SỢI NANO Tác giả: Lý Văn Đạt Khoá: 2009 Người hướng dẫn: PGS.TS. - Vũ Ngọc Hùng Nội dung tóm tắt a/ Lý do chọn đề tài Đáp ứng nhu cầu này của cuộc sống, có nhiều nhóm nghiên cứu ở Việt Nam cũng như trên thế giới đã nghiên cứu, chế tạo và ứng dụng rất nhiều loại cảm biến sử dụng các loại vật liệu nano khác nhau như TiO2, SnO2, CNT, ZnO...hoạt động dựa trên nguyên lý sự thay đổi điện trở. - Để trong luận văn này nghiên cứu chế tạo một loại cảm biến hoạt động ở ngay nhiệt độ phòng dựa trên nguyên lý sự thay đổi tần số. - Loại cảm biến này là sự kết hợp giữa công nghệ MEMS (Micro ElectroMechanical Systems) và công nghệ nano. - Vì vậy tác giả chọn đề tài:”Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí vi cân tinh thể thạch anh (QCM) sử dụng sợi nano ZnO” b/ Mục đích nghiên cứu, đối tượng, phạm vi nghiên cứu * Mục đích. - Ttổng hợp sợi nano ZnO trên đế Si phủ Au, và tạo ra được các sợi nano trên đế si phủ vàng, bề mặt QCM. - Chế tạo được QCM trong phòng sạch * Đối tượng nghiên cứu: Sợi nano ZnO và công nghệ Mems * Phạm vi nghiên cứu: Tổng hợp sợi nano ZnO, Các yếu tố ảnh hưởng đến việc tạo sợi nano và chất lượng của cảm biến. - C/ Phương pháp nghiên cứu - Phương pháp nghiên cứu lý thuyết + Đọc và phân tích các tài liệu tham khảo có liên quan tới đề tài + So sánh tổng hợp kết quả phân tích của các tài liệu - Phương pháp nghiên cứu thực nghiệm. - Tổng hợp, chế tạo vật sợi nano ZnO trên đế Si phủ vàng, QCM và phân tích kết quả bằng các phép đo RT, chụp XDR, chụp ảnh SEM. - Trình bày các phương pháp tổng hợp sợi nano ZnO, và các bước chế tạo QCM. - Phân tích sự ảnh hưởng của nồng độ, thời gian ủ đến sự mọc sợi nano ZnO. - CHƯƠNG II: THỰC NGHIỆM − Đưa ra quy trình chế tạo linh kiện QCM và tổng hợp thanh nao ZnO. - CHƯƠNG III: KẾT QUẢ − Các kết quả chế tạo QCM, phân tích và khảo sát cấu trúc nano ZnO đã tổng hợp được, kết quả chế tạo cảm biến và khảo sát đặc trưng nhạy khí NH3. - Các kết quả đã đạt được - Chế tạo thành công linh kiện QCM hoạt động ở tần số công hưởng cơ bản 5.5 MHz, hệ số phẩm chất Q = 785.43. - Quy trình công nghệ đã được cải tiến và rút ngắn, có thể chế tạo hàng loạt linh kiện QCM. - Hướng phát triển của đề tài Tổng hợp các vật liệu nano khác như: CNT, CNT-ZnO, CNT-SnO2….lên điện cực của QCM áp dụng làm cảm biến khí, cảm biến sinh học, cảm biến môi trường, cảm biến độ ẩm…. - Kiến nghị + Tăng cường cơ sở vật chất cho phòng thí nghiệm theo tiêu chuẩn quốc tế để phục vụ tốt hơn quá trình nghiên cứu.
Xem thử không khả dụng, vui lòng xem tại trang nguồn hoặc xem
Tóm tắt