- Đặc trưng cấu trúc tinh thể của màng mỏng ZnO:Eu 3. - Tính chất quang của màng ZnO:Eu 3. - T Nhiệt độ. - Ảnh SEM đo trên mẫu ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế ở. - ở nhiệt độ đế ở 400°C 25. - Hình 3.4.Phổ tán sắc năng lượng EDS mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2. - nhiệt độ đế 200°C. - Hình 3.5.Phổ XRD của các mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) tại các nhiệt độ. - Phổ XRD của các mẫu màng ZnO:Eu 3+ (4%) tại các nhiệt. - Phổ tán xạ Raman của mẫu màng ZnO: Eu 3+ (2%) tại các. - nhiệt độ 160°C, 200° C và 400°C 30. - Phổ tán xạ Raman của mẫu màng ZnO: Eu 3+ (4%) tại các. - nhiệt độ 250°C, 300° C và 400°C 30. - Phổ kích thích huỳnh quang của ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ. - Hình 3.10. - Phổ PL tại bước sóng kích thích tại λ ex = 340 nm của màng mỏng Zn:Eu 3+ (2%) tại các nhiệt độ đế: 160 o C, 200 o C, 250 o C và 400 o C. - Phổ PL tại bước sóng kích thích tại λ ex = 340 nm của màng mỏng Zn:Eu 3+ (4%) tại các nhiệt độ đế: 200 o C, 250 o C, 300 o C và 400 o C.. - Phổ PL bước sóng kích thích tại λ ex = 395 nm của màng mỏng ZnO:Eu 3+ (2%) tại các nhiệt độ đế khác nhau: 200 o C, 250 o C và 400 o C. - Phổ PL tại bước sóng kích thích tại λ ex = 395 nm của màng mỏng Zn:Eu 3+ (4%) tại các nhiệt độ đế khác nhau: 200 o C, 250 o C, 300 o C và 400 o C. - ZnO:Eu 3+ (2%) tại các nhiệt độ đế:160°C, 200°C, 250°C và 400°C 35 Hình 3.15. - ZnO:Eu 3+ (4%) tại các nhiệt độ đế:200°C, 250°C, 300°C và 400°C 36 Hình 3.16. - Ảnh SEM của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) nhiệt độ đế ở. - Phổ XRD của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế. - Phổ tán xạ Raman của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt. - ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế 400°C ủ N 2 trong 4h. - ZnO:Eu 3+ (4%) ở nhiệt độ đế 400°C ủ N 2 trong 4h. - Phổ PL của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế. - (2% và 4%) tại một số nhiệt độ đế 28. - Chế tạo màng ZnO pha tạp Eu 3+ (2% và 4%) ở một số nhiệt độ đế và nhiệt độ ủ 400 o C sử dụng phương pháp phun tĩnh điện.. - ZnO pha tạp Eu 3+ (ZnO:Eu 3. - Tính chất huỳnh quang của Eu 3+ phụ thuộc vào nồng độ và nhiệt độ chế tạo mẫu. - Nhiệt độ chế tạo mẫu cũng ảnh hưởng đến tính chất phát quang của màng. - Chế tạo ở nhiệt độ thích hợp cũng làm tăng khả năng phát quang của màng. - Nhiệt độ ủ có vai trò tác động thay đổi cấu trúc tinh thể và sự phát quang của vật liệu. - Màng ZnO:Eu 3+ được ủ ở nhiệt độ và điều kiện ủ nhất định thì dẫn tới sự khuếch tán đồng đều của ion Eu 3+ trong tinh thể ZnO. - Nhiệt độ đế được giữ ở các nhiệt độ khác. - nhau 160 o C, 200 o C, 250 o C, 300 o C và 400 o C để nghiên cứu ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên quá trình hình thành cấu trúc tinh thể trên các màng mỏng.. - Nghiên cứu tính chất màng mỏng ZnO:Eu 3+. - Mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2% và 4%) ở các nhiệt độ đế khác nhau trên đế thủy tinh được khảo sát hình thái cấu trúc bề mặt bằng ảnh hiển vi điện tử quét SEM.. - Ảnh SEM của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế: 160 (a) và 200°C(b).. - (2%) ở nhiệt độ đế chế tạo ở 160 và 200°C. - Ảnh SEM đo trên mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế 250°C.. - Ảnh SEM (a) và AFM (b) đo trên mẫu ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế ở 400°C.. - Phổ tán sắc năng lượng EDS của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2. - ở nhiệt độ đế 200°C. - Đặc trƣng cấu trúc tinh thể của màng mỏng ZnO:Eu 3+. - Hình 3.5 trình bày kết quả phổ XRD của các màng mỏng ZnO:Eu 3+ (2%) chế tạo tại các nhiệt độ đế khác nhau: 160 o C, 200 o C, 250 o C và 400 o C. - Khi nhiệt độ tăng lên (tại 200 o C, 250 o C và 400 o C) các pha tinh thể xuất hiện và định hướng theo các mặt (100), (002), (101), (102), (110), (103) và (112).. - Phổ XRD của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở các nhiệt độ đế: 160 o C, 200 o C, 250 o C và 400 o C.. - ZnO:Eu 3+. - Phổ XRD của các mẫu màng ZnO:Eu 3+ (4%) ở các nhiệt độ đế: 200 o C, 250 o C, 300 o C và 400 o C... - Kết quả đo phổ nhiễu xạ tia X của các mẫu màng ZnO:Eu 3+ (4%) có nhiệt độ đế từ 200 o C đến 400 o C , trình bày trên Hình 3.6, cho thấy các đỉnh nhiễu xạ hình thành rõ ràng tại các vị trí góc nhiễu xạ tương ứng với các mặt phẳng tinh thể (100), (002), (101), (102), (110), (103) và (112) của mạng đa tinh thể ZnO lục giác Wurtzite, tương tự như quan sát trên các mẫu ZnO:Eu 3+ (2%).. - Mẫu Nhiệt độ đế. - ZnO:Eu (2% và 4%) tại một số nhiệt độ đế.. - (2%) và ZnO:Eu 3+ (4%) tại các nhiệt độ đế khác nhau đến 400°C căn cứ vào vị trí góc nhiễu xạ. - Đối với mẫu ZnO:Eu 3+ (2. - Nhìn chung, các mẫu màng mỏng ZnO:Eu 3+ (2% và 4%) chế tạo tại các nhiệt độ đế trên 200°C đều quan sát được các đỉnh nhiễu xạ cực đại của tinh thể ZnO. - Tuy nhiên, mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2% và 4%) chế tạo ở nhiệt độ đế 400°C có tính chất, cấu trúc tinh thể kết tinh hoàn chỉnh hơn so với mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2% và 4%) chế tạo ở nhiệt độ đế thấp hơn 400°C.. - Kết quả này thể hiện rõ hơn ở mẫu màng ZnO khi nhiệt độ đế 400°C. - Phổ tán xạ Raman của mẫu màng ZnO: Eu 3+ (2%) ở các nhiệt độ 160°C, 200° C và 400°C.. - ZnO:Eu 4%. - Phổ tán xạ Raman của mẫu màng ZnO: Eu 3+ (4%) ở các nhiệt độ 250°C, 300° C và 400°C.. - Hình 3.8 trình bày kết quả đo phổ Raman trên mẫu màng phun tĩnh điện ZnO:Eu 3+ (4%) với nhiệt độ đế chế tạo tại 250°C, 300°C, 400°C. - Ở nhiệt độ đế cao, hai đỉnh phổ Raman đặc trưng ở E 2 (low. - Tính chất quang của màng ZnO:Eu 3+. - Phổ kích thích huỳnh quang của ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế 400°C với λ hq = 615nm được trình bày trên Hình 3.9, các đỉnh phổ kích thích mạnh tương ứng với các bước sóng 395 nm và 467 nm. - Phổ kích thích huỳnh quang của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế 400°C.. - Hình 3.10 và Hình 3.11, trình bày phổ PL của mẫu ZnO:Eu 3+ (2%) và ZnO:Eu 3+ (4%) tại nhiệt độ đế từ 200 o C đến 400 o C với bước sóng kích thích tại. - Cường độ phổ PL do Eu 3+ trên mẫu ZnO:Eu 3+ (4%) mạnh hơn cường độ PL đo trên mẫu ZnO:Eu 3+ (2%) ở cùng nhiệt độ lắng đọng đế. - Hình 3.12 trình bày kết quả đo phổ huỳnh quang kích thích tại bước sóng 395 nm các màng ZnO:Eu 3+ (2%) thay đổi ở các nhiệt độ đế 200 o C, 250 o C và 400 o C. - 5 D 0 7 F 2 ZnO:Eu 3+ (2%). - 1 5 D 0 7 F 2 ZnO:Eu 3+ (4%). - Phổ PL tại bước sóng kích thích tại λ ex = 340 nm của mẫu màng Zn:Eu 3+ (2%) ở các nhiệt độ đế: 160 o C, 200 o C, 250 o C và 400 o C. - Phổ PL tại bước sóng kích thích λ ex = 340 nm của mẫu màng Zn:Eu 3+ (4%) ở các nhiệt độ đế: 200 o C, 250 o C, 300 o C và 400 o C.. - F 4 ZnO:Eu 3+. - Phổ PL bước sóng kích thích tại λ ex = 395 nm của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở các nhiệt độ đế: 200 o C, 250 o C và 400 o C.. - Hình 3.13 trình bày kết quả đo phổ huỳnh quang của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (4%) kích thích bởi bước sóng đặc trưng 395 nm tại các nhiệt độ đế khác nhau 200 o C, 250 o C, 300 o C và 400 o C. - Tương tự như trên các mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2. - 7 ZnO:Eu 3+ F2. - Phổ PL tại bước sóng kích thích tại λ ex = 395 nm của mẫu màng Zn:Eu 3+ (4%) ở các nhiệt độ đế: 200 o C, 250 o C, 300 o C và 400 o C.. - F 2 ZnO:Eu 3+. - (2%) ở các nhiệt độ đế:160°C,200°C, 250°C và 400°C.. - Hình 3.15. - (4%) ở các nhiệt độ đế:200°C, 250°C, 300°C và 400°C.. - Ngoài ra, mẫu màng ZnO:Eu 3+ (4%) chế tạo tại nhiệt độ đế 300°C có cường độ phát quang mạnh hơn các mẫu chế tạo ở nhiệt độ đế 200 o C, 250 o C và 400 o C dưới tác đọng của bước sóng kích 467 nm. - Ảnh SEM của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) nhiệt độ đế ở 400°C ủ N 2 trong 4h.. - ZnO:Eu 3+ (2%). - Phổ XRD của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế 250°C, ủ N 2 tại 400 o C trong 4 h và không ủ.. - Hình 3.19 trình kết quả đo phổ tán xạ Raman trên các mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) lắng đọng ở các nhiệt độ 250°C và 400°C sau khi ủ N 2 tại 400°C trong 4h. - Hình 3.19. - Phổ tán xạ Raman của mẫu màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế 250°C và 400°C, ủ N 2 tại 400 o C trong 4 h.. - Phổ PL kích thích tại bước sóng 340 nm của màng ZnO:Eu 3+ (2%) ở nhiệt độ đế 400°C ủ N 2 trong 4h.. - ZnO:Eu 3+ (4%). - nhiệt độ đế 400°C ủ N 2 trong 4h.. - (4%) chế tạo ở nhiệt độ đế 400°C sau khi ủ trong N 2 tại 400°C trong 4h. - Phổ PL của mẫu màng ZnO:Eu 3+. - (2%) ở nhiệt độ đế 200°C , ủ N 2 trong 4h và không ủ N 2 với bước sóng kích thích 395 nm.. - (2%) ở nhiệt độ đế 250°C, ủ N 2 và không ủ N 2 với bước sóng kích thích 467 nm.. - Các màng ZnO pha tạp Eu 3+ (2% và 4%) đã được nhóm nghiên cứu chế tạo bằng phương pháp phun tĩnh điện ở các nhiệt độ đế khác nhau 160°C, 200°C, 250°C , 300°C và 400°C.. - Quá trình ủ nhiệt trong môi trường N 2 ở nhiệt độ 400°C làm tăng khả năng phát quang của ion Eu 3+ trong màng mỏng ZnO:Eu