Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc điện trở ba bậc tự do trên cơ sở công nghệ vi cơ khối khô

- Bộ giáo dục và đào tạo Viện đào tạo quốc tế về khoa học vật liệu Khoá itims-2006 Tên luận văn: Nghiên cứu thiết kế chế tạo cảm biến gia tốc áp điện trở ba bậc tự do trên cơ sở công nghệ vi cơ khối khô.
- Tóm tắt luận văn: Trên cơ sở hiệu ứng áp trở đối với vật liệu silíc, cảm biến gia tốc kiểu áp điện trở đã đợc nghiên cứu chế tạo bằng công nghệ ăn mòn khô lần đầu tiên ở Việt Nam.
- Trong khuôn khổ của luận án, đã thiết lập đợc một quy trình công nghệ chế tạo cảm biến gia tốc phù hợp với điều kiện và các trang thiết bị sẵn có ở viện ITIMS.
- Vi cảm biến gia tốc có kích thớc thu nhỏ đã đợc thiết kế mô phỏng bằng phần mềm ANSYS và đã đợc chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ khối sử dụng kỹ thuật ăn mòn khô.
- Các vi cảm biến gia tốc sau khi chế tạo đã khảo sát đo đạc độ nhạy và đặc trng động.
- Kết quả khảo sát cho thấy vi cảm biến có độ nhạy là 30,5 μV/g đối với gia tốc theo phơng z và 22,9 μV/g đối với gia tốc theo phơng x.
- Kết quả khảo sát đặc trng dộng của cảm biến cho thấy giải thông của cảm biến đạt khoảng 100 Hz.
- Việc bớc đầu làm chủ công nghệ ăn mòn khô mở rộng khả năng chế tạo nhiều chủng loại vi cảm biến.

Xem thử không khả dụng, vui lòng xem tại trang nguồn
hoặc xem Tóm tắt