- Nghiên cứu thiết kế mô phỏng cảm biến giọt chất lỏng dựa trên nguyên lý FPM. - Trường Đại học Công nghệ. - Cảm biến điện dung. - Một thiết bị MEMS thông thường là một hệ thống vi cơ tích hợp trên một chíp với những cơ cấu chấp hành và cảm biến mong muốn. - Công nghệ vi cơ đã và đang tiến xa hơn nhiều so với nguồn gốc của nó là công nghệ bán dẫn. - Với ưu thế, có thể tạo ra những cấu trúc cơ học nhỏ bé tinh tế và nhạy cảm đặc thù, công nghệ vi cơ hiện nay đã cho phép tạo ra những bộ cảm biến và cơ cấu chấp hành được ứng dụng rộng rãi trong cuộc sống. - Song công nghệ MEMS mới đang ở giai đoạn đầu của nó và cần rất nhiều những nghiên cứu cơ bản và chuyên sâu. - Công nghệ máy in phun là một trong những công nghệ đi đầu trong lĩnh vực này. - Cái dễ nhìn thấy hiệu quả của nó là các loại máy in phun công nghệ cao dần thay thế các loại máy cồng kềnh và khó sử dụng với công nghệ cũ. - Trong y tế, việc điều khiển tạo ra những giọt vi lỏng với tốc độ khác nhau có ứng dụng rất lớn, việc lọc máu cho các bệnh nhân hiện đang sử dụng công nghệ này. - Mục đích hướng tới của công nghệ vi lỏng là có thể đo thể tích, vật tốc và đặc tính của chất lỏng từ đó tạo ra các giọt, dòng vi lỏng có những thông số theo yêu cầu sử dụng trong các vi kênh khác nhau. - Với những lý do trên, tôi chọn đề tài cho luận văn thạc sĩ là: “Nghiên cứu thiết kế mô phỏng cảm biến giọt sử dụng FPM”. - Các cấu trúc đề xuất của nghiên cứu này có tiềm năng ứng dụng vào các hệ thống theo dõi. - Các cấu trúc đề xuất của nghiên cứu này có tiềm năng ứng dụng vào các hệ thống theo dõi bọt khí trong mạch máu, phát hiện vật thể lạ trong mao dẫn, đo nồng độ hạt kim loại trong dầu máy động cơ…