- ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI TRƯỜNG ĐẠI HỌC KHOA HỌC TỰ NHIÊN. - ĐỀ CƯƠNG MÔN HỌC CÔNG NGHỆ NANO 1. - 225, T1, ĐHKHTN · Địa chỉ liên hệ : 334 Nguyễn Trãi, Thanh Xuân, Hà Nội · Điện thoại, email NR Các hướng nghiên cứu chính : Vật liệu và linh kiện điện tử, Khoa hoc và Công nghệ nano · Thông tin về trợ giảng (nếu có) (họ tên, địa chỉ liên hệ, điện thoại, email): 2. - Thông tin về môn học. - Tên môn học : Công nghệ nano · Mã môn học. - Nghe giảng lý thuyết trên lớp : 21 tiết · Làm bài tập trên lớp : 4. - Thảo luận trên lớp :2 · Thực hành trong phòng thí nghiệm · Thực tập thực tế ngoài trường · Tự học :3 · Đơn vị phụ trách môn học. - Bộ môn : PTN Vật lý ứng dụng · Khoa : Vật lý · Môn học tiên quyết : Cơ học lượng tử, Vật lý chất rắn, Đại cương Khoa học Vật liệu · Môn học kế tiếp : Khoá luận tốt nghiệp 3. - Mục tiêu của môn học - Mục tiêu về kiến thức: Trang bị các kiến thức cơ bản vai trò và tiềm năng của khoa học và công nghệ nano, trang bị các kiến thức chế tạo vật liệu và linh kiện nano theo các phương pháp hiên đại đang được sử dụng trên thế giới. - Mục tiêu về kỹ năng : Nắm vững bản chất của khoa học và công nghệ nano, nắm được kỹ năng của từng phương pháp chế tạo, từ đó khai thác hợp lý các điều kiện hiện có để chế tạo vật liệu và linh kiện phục vụ cho giảng dạy nghiên cứu khoa học và ứng dụng thực tiễn. - Tóm tắt nội dung môn học. - Trang bị những khái niệm cơ bản về khoa học và công nghệ nano, mối quan hệ hữư cơ giữa phương pháp chế tạo với kích thước, giữa kích thước với các tính chất đặc trưng, các kiến thức về phương pháp công nghệ từ dưới lên ( Bottom up), từ trên xuống ( Top down), 5. - Nội dung chi tiết môn học Chương 1 . - Một số khái niệm về Khoa học và Công nghệ nano 1.1. - Vai trò của khoa học và công nghệ nano 1.2. - Các tiềm năng ứng dụng và phương hương và quy mô phát triển của khoa hoc và công nghệ nano 1.3. - Các nội dung cơ bản của khoa học và công nghệ nano Chương 2. - Công nghệ bay hơi và ngưng kết vật liệu trong chân không 2.1. - Các phương pháp tạo nguồn nguyên tử, phân tử nhờ nhiệt năng 2.2. - Các phương pháp bay hơi hợp chất. - Phương pháp hiệu chỉnh thành phần và ổn định cấu trúc vật liệu Chương 3. - Công nghệ ion 3.1. - Công nghệ DC 3.2. - Công nghệ RF. - Công nghệ Ion-Plasma và Magnetron. - Công nghệ Hoá học 4.1. - Công nghệ CVD 4.2. - Công nghệ sol-gel 4.3. - Công nghệ mạ điện 4.4. - Công nghệ anốt hoá Chương 5. - Công nghệ epitaxy pha lỏng Chương 6. - Công nghệ khắc hình 6.1. - Phương pháp quang khắc 6.2. - Phương pháp khắc chùm điện tử 6.3. - Phương pháp khắc chùm ion 6. - Nội dung. - Hình thức tổ chức dạy học môn học. - Lý thuyết. - Bài tập. - Nội dung chính. - Các nội dung cơ bản của khoa học và công nghệ nano. - Lý thuyết + Thảo luận. - Như nội dung chính Tuần 2. - 2.1.Các phương pháp tạo nguồn nguyên tử, phân tử nhờ nhiệt năng. - Lý thuyết + Tự học. - Như nội dung chính Tuần 3. - Lý thuyết +Bài tập. - Như nội dung chính Tuần 4. - Phương pháp hiệu chỉnh thành phần và ổn định cấu trúc vật liệu. - Như nội dung chính Tuần 5. - Công nghệ bốc bay DC. - Như nội dung chính Tuần 6. - Như nội dung chính Tuần 7. - Công nghệ sol-gel. - Lý thuyết + Bài tập. - Như nội dung chính Tuần 8. - Công nghệ anốt hoá. - Lý thuyết + Tự nghiên cứu. - Như nội dung chính Tuần 9. - 5.1.Công nghệ Epitaxy pha lỏng. - Như nội dung chính Tuần 10. - Phương pháp khắc chùm điện tử. - Phương pháp khắc chùm ion. - Như nội dung chính. - Yêu cầu của giảng viên đối với môn học. - Phương pháp và hình thức kiểm tra đánh giá môn học : 9.1. - 1 bài kiểm tra tự luận giữa kỳ với hệ số 0,3. - Lịch thi và kiểm tra. - Tuần thứ 4-5 : kiểm tra giữa kỳ.