« Home « Kết quả tìm kiếm

phún xạ


Tìm thấy 20+ kết quả cho từ khóa "phún xạ"

Chế tạo màng ZnO pha tạp Al, Ga bằng phương pháp phún xạ ứng dụng làm điện cực trong suốt dẫn điện

dlib.hust.edu.vn

Vật liệu chế tạo màng và ñế dùng ñể phún xạ III.1.1. Vật liệu chế tạo màng III.1.2. Cấu trúc tinh thể và cấu trúc bề mặt của màng III.2.2.1. Ảnh hưởng của pha tạp tới cấu trúc tinh thể của màng III.2.2.2. Ảnh hưởng của chiều dày tới cấu trúc tinh thể và cấu trúc bề mặt của màng III.2.2.3. Ảnh hưởng của nhiệt ñộ ñế tới cấu trúc tinh thể của màng III.2.3. Tính chất quang của màng III.2.3.1.

Nghiên cứu ảnh hưởng của lớp phủ cứng TiN trên khuôn kim loại

9-chuong 2.pdf

dlib.hust.edu.vn

Chế tạo màng cứng bằng phương pháp phún xạ RF 2.3.2.1. Phún xạ thông thường Phún xạ thông thường được hiểu là phún xạ không có phản ứng hóa học xảy ra trên bề mặt đế. Phún xạ có phản ứng hóa học Trong nhiều phương pháp tạo màng bằng PVD, có hai phương pháp được sử dụng nhiều nhất là bốc hơi và phún xạ cathode. So sánh hai phương pháp này thì phương pháp phún xạ dễ dàng cho việc chế tạo các loại màng hợp chất.

Nghiên cứu ảnh hưởng của lớp phủ cứng TiN trên khuôn kim loại

muc luc.pdf

dlib.hust.edu.vn

Chế tạo màng mỏng bằng phương pháp phún xạ cao tần492.2.1. Nguyên lý chung của phương pháp phún xạ 492.2.2. Nguyên lý phún xạ cathode cao tần (Nguyên lý RF - Sputtering) 502.2.3. Các loại buồng phún xạ RF 542.2.4. Ứng dụng của phún xạ cao tần552.3. Chế tạo màng cứng bằng phương pháp phún xạ RF 58 62.4. Chế tạo màng TiN bằng phún xạ RF 582.4.1. Tính chất màng TiN chế tạo bằng phún xạ hoạt hóa cathode cao tần 60CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO LỚP PHỦ TRÊN CHI TIẾT KHUÔN VÀ KẾT QUẢ ĐÁNH GIÁ 703.1.

Nghiên cứu và chế tạo pin mặt trời Cu(Zn,Sn) (S,Se)2 và C(In,Ga)(S,Se)2

000000277294-TT.pdf

dlib.hust.edu.vn

Kết quả cho thấy màng Mo được chế tạo với lớp phún xạ RF bên trên đã bền vững. 2.1 Phương pháp chế tạo màng bằng phún xạ 2.1.1 Giới thiệu phương pháp tạo màng bằng phún xạ 2.1.2 Phún xạ một chiều (DC) và phún xạ xoay chiều (RF) 2.1.3 Phún xạ dọc trục, ngang trục và phún xạ Magnetron 2.1.4 Hệ phún xạ dùng trong nghiên cứu chế tạo màng Molybdenum 2.2 Tạo màng Molybdenum 1 lớp bằng phún xạ sử dụng nguồn DC 2.2.1 Quy trình tạo màng Mo 1 lớp bằng phún xạ sử dụng nguồn DC 2.2.2 Kết quả tạo màng Mo 1 lớp

Chế tạo và nghiên cứu tính chất của màng mỏng TiO2 cấu trúc nano ứng dụng cho điện cực pin mặt trời quang - điện – hóa

Luan van Thac si.Pdf

repository.vnu.edu.vn

m tiếp tục khảo sát thời ian phún xạ ảnh hƣởn tới t nh chất quan của màn mỏn Ti 2 ác màn mỏn Ti đều đƣợc phún xạ với c n suất phún xạ 80W, áp suất phún xạ 0 5Pa kết quả đã tr nh ày ở trên) th o các thời ian khác nhau..

Chế tạo và nghiên cứu các tính chất điện và từ của các màng mỏng từ dạng hạt kiểu FM-O (FM=Fe, Ni, Co, Py, CoFe,...; O=SiO2, Al2O3, MgO,...)

297591.pdf

dlib.hust.edu.vn

Hình 2.1: Nguyên lý cơ bản của quá trình hình thành màng bằng phương pháp phún xạ. a) b) Hình 2.2: Hệ phún xạ RF Alcatel SCM-400 a)Máy phún xạ Alcatel, b)Nguồn RF Đinh Văn Tương Một số yếu tố kỹ thuật phún xạ 2.1.2.1 Công suất phún xạ.

Tính chất quang xúc tác của các cấu trúc dị thể TiO2/ZnO

ctujsvn.ctu.edu.vn

Cấu trúc màng hai lớp TiO 2 /ZnO: được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron. sau đó màng TiO 2 có độ dày khoảng 290 nm với các thông số phún xạ: công suất P = 100 W, thời gian t = 10 phút, áp suất p torr được phủ lên phía trên lớp màng ZnO để tạo thành cấu trúc màng hai lớp TiO 2 /ZnO.. Cấu trúc màng TiO 2 /ZnO rod: được chế tạo bằng cách kết hợp hai phương pháp điện hóa và phún xạ magnetron.

Nghiên cứu chế tạo các cấu trúc xuyên ngầm từ dạng lai giữa kiểu lớp và kiểu hạt

000000254556.pdf

dlib.hust.edu.vn

Luận văn thạc sỹ 19 Hình 2.1: Nguyên lý cơ bản của quá trình hình thành màng bằng phương pháp phún xạ Bản chất vật lý của quá trình phún xạ chính là một quá trình vận chuyển động lượng. a) b) Hình 2.2: Hệ phún xạ RF Alcatel SCM-400 a)Máy phún xạ Alcatel, b)Nguồn RF Luận văn thạc sỹ 21 2.1.2.

Nghiên cứu ảnh hưởng của lớp phủ cứng TiN trên khuôn kim loại

ket luan va kien nghi.pdf

dlib.hust.edu.vn

Khai thác, sử dụng thiết bị phún xạ RF Z550 chế tạo được lớp phủ TiN với tỷ lệ hợp thức 1:1 trên bề mặt khuôn đúc áp lực (thép SKD61) bằng phương pháp phún xạ cathode cao tần (RF-Sputtering). Lớp phủ đạt các tiêu chí: độ cứng cao, giảm ma sát bề mặt, trơ hóa học cao, không thấm ướt kim loại lỏng, khả năng tách khuôn tốt. Thực hiện một số thí nghiệm cơ tính tốt so với các kết quả nghiên cứu trên thế giới về lớp phủ cứng trên khuôn đúc áp lực đạt được tương tự.

Chế tạo màng nano kim loại quý và tìm hiểu khả năng ứng dụng

Luanvan.pdf

repository.vnu.edu.vn

Phương pháp phún xạ catot. Phương pháp lắng đọng pha hơi hóa học (CVD. Phương pháp mạ điện hóa. Phương pháp mạ hóa học. Phương pháp polyol. Phương pháp và định hướng nghiên cứu. Chế tạo màng Pt. Chức năng hóa bề mặt màng Pt và gắn kết với các phân tử sinh học . Chức năng hóa bề mặt màng Pt. Các phương pháp phân tích và khảo sát. Phương pháp nhiễu xạ tia X. Phương pháp phân tích phổ hồng ngoại (IR. Phương pháp tán xạ Raman. Kết quả chế tạo màng Pt. Kết quả chức năng hóa màng Pt.

Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí loại một mặt sử dụng màng mỏng oxit kim loại bán dẫn kết hợp đảo xúc tác micro-nano.

000000273870-tt.pdf

dlib.hust.edu.vn

Chế tạo được màng mỏng SnO2 bằng phương pháp phún xạ. Tạo các đảo xúc tác kích thước micromet bằng phương pháp phún xạ kết hợp với công nghệ quang khắc. Phân tích cấu trúc và hình thái của các hệ vật liệu đã chế tạo và hhảo sát đặc trưng nhạy khí của các hệ vật liệu. Chương I: Tổng quan - Trình bày tổng quan về cảm biến khí loại một mặt màng mỏng SnO2 có đảo xúc tác và các phương pháp nghiên cứu, chế tạo. d) Phương pháp nghiên cứu. Kết hợp giữa nghiên cứu lý thuyết và phương pháp thực nghiệm.

Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí H2 và H2S trên cơ sở màng SnO2 biến tính đảo xúc tác Micro-nano

000000277226-TT.pdf

dlib.hust.edu.vn

Quang khắc mở cửa sổ cho vùng đảo xúc tác, phún xạ đảo xúc tác Pd, CuO và liff –off bóc tách chất cảm quang tạo cấu trúc cảm biến hoàn thiện. Thông số phún xạ màng mỏng SnO2 Bảng 2.6. Phún xạ đảo xúc tác: Cảm biến có thể được chế tạo với nhiều loại đảo xúc tác khác nhau. Hình ảnh lớp đảo xúc tác trên màng nhạy khí SnO2 sau khi chế tạo 10 Trên Hình 2.11 là cảm biến màng mỏng SnO2 pha tạp các loại đảo xúc tác sau khi chế tạo qua các công đoạn dựa trên kỹ thuật vi điện tử và phún xạ hoạt hóa.

Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí H2S trên cơ sở dây nano SnO2 biến tính CuO.

000000297022-tt.pdf

dlib.hust.edu.vn

Với cấu trúc dây nano SnO2 có nồng độ biến tính 0,25 mM và mẫu phún xạ Cu trong 10 giây thì cảm biến lần lượt cho độ đáp ứng tốt nhất S = 4914 ở 150oC và S =1219 lần ứng ở nhiệt độ 200oC với 2,5 ppm khí H2S. Nhiệt độ hoạt động tối ưu của cảm biến đã được xác định ở khoảng 200oC – 250oC và độ đáp ứng của cảm biến hoạt động tuyến tính theo nồng độ khí và theo nhiệt độ đo. Cảm biến có thể đo được khí H2S ở nồng độ thấp cỡ ppb.

Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí H2S trên cơ sở dây nano SnO2 biến tính CuO.

000000297022.pdf

dlib.hust.edu.vn

Cảm biến H2S biến tính CuO bằng phương pháp phún xạ. Khảo sát sự lặp lại, tính chọn lọc và khả năng làm việc ổn định của cảm biến.

Nghiên cứu ảnh hưởng của lớp phủ cứng TiN trên khuôn kim loại

000000255282-TT.pdf

dlib.hust.edu.vn

Khai thác, sử dụng thiết bị phún xạ RF Z550 chế tạo được lớp phủ TiN với tỷ lệ hợp thức 1:1 trên bề mặt khuôn đúc áp lực (thép SKD61) bằng phương pháp phún xạ cathode cao tần (RF-Sputtering). Lớp phủ đạt các tiêu chí: độ cứng cao, giảm ma sát bề mặt, trơ hóa học cao, không thấm ướt kim loại lỏng, khả năng tách khuôn tốt. Thực hiện một số thí nghiệm cơ tính tốt so với các kết quả nghiên cứu trên thế giới về lớp phủ cứng trên khuôn đúc áp lực đạt được tương tự.

Nghiên cứu và chế tạo pin mặt trời Cu(Zn,Sn) (S,Se)2 và C(In,Ga)(S,Se)2

000000277294.pdf

dlib.hust.edu.vn

Cuối chương, trình bày thêm một số nghiên cứu chế tạo màng ZnO/ITO bằng phương pháp phún xạ và ứng dụng làm điện cực cửa sổ trong Pin mặt trời. Màng này có thể ứng dụng vào làm lớp điện cực cửa sổ trong Pin mặt trời. Trong luận án này, Pin mặt trời được nghiên cứu và chế tạo sẽ dùng phương pháp phún xạ để chế tạo màng ZnO/ITO làm lớp điện cực cửa sổ. VÀ HOÀN THIỆN TẾ BÀO PIN MẶT TRỜI Pin mặt trời CZTSSe có lớp hấp thụ ánh sáng là màng CZTSSe.

Nghiên cứu chế tạo màng mỏng nano CSS (Cu2SnS3) sử dụng cho pin mặt trời đa lớp để phát triển năng lượng sạch

000000253595.pdf

dlib.hust.edu.vn

Nhóm các phương pháp vật lý bao gồm: Phương pháp bay hơi nhiệt, phương pháp phún xạ (phún xạ chùm điện tử, phún xạ chùm ion. Nhóm các phương pháp hoá học bao gồm: Phương pháp lắng đọng pha hơi, phương pháp điện hoá, phương pháp sol-gel, phương pháp phun nhiệt phân,… Phần này sẽ giới thiệu một số phương pháp thông dụng chế tạo màng mỏng. Phương pháp sol-gel Phương pháp sol-gel đã được nghiên cứu, phát triển và sử dụng trong vài chục năm gần đây.

Hiện tượng xuyên ngầm spin và các tính chất liên quan trong các kiểu cấu trúc MTJ

277244-TT.pdf

dlib.hust.edu.vn

CHƯƠNG 2: PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM 2.1 Các thực nghiệm chế tạo mẫu 2.1.1 Lắng đọng màng mỏng bằng kỹ thuật phún xạ Một trong những phương pháp chế tạo màng mỏng từ có cấu trúc MTJ phù hợp với điều kiện hiện nay ở Việt Nam là phún xạ cao tần. Ưu điểm của hệ phún xạ cao tần RF là có thể sử dụng được chất điện môi làm các loại bia và đế.

“Nghiên cứu một số tính chất quang của ZnS:Cu-Al chế tạo bằng phương pháp gốm

muc luc (2).doc

tainguyenso.vnu.edu.vn

MỘT SỐ PHƯƠNG PHÁP CHẾ TẠO ZnS VÀ ZnS:Al-Cu. 2.1 Phương pháp phún xạ catốt . 2.2 Phương pháp sol – gel . 2.3 Phương pháp đồng kết tủa . 2.4 Phương pháp micell thuận và đảo . 2.5 Phương pháp gốm .

Nghiên cứu hiệu ứng tự đốt nóng và biến tính bề mặt dây nano oxit kim loại bán dẫn nhằm ứng dụng cho cảm biến khí.

000000273042-tt.pdf

dlib.hust.edu.vn

Phương pháp thực nghiệm chế tạo dây nano SnO2 làm cơ sở để chế tạo cảm biến tự đốt nóng bằng công nghệ vi cơ điện tử: quang khắc, phún xạ…để chế tạo các cảm biến có độ ổn định cao nhất chúng tối đã tiến hành khảo sát và thay đổi các thông số trong quá trình chế tạo và tìm ra điều kiện thích hợp nhất.